集成電路裝備零部件成果
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全國首支集成電路裝備零部件基金
本次簽約成立的集成電路裝備零部件基金是全國第一支以集成電路裝備零部件成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目和早期項(xiàng)目為投資標(biāo)的的基金，由產(chǎn)投資本和集電院、硬科院共同出資，由廣州產(chǎn)投私募擔(dān)任管理人。
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